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Semiconductors - Shanghai, Shanghai, China
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上海精测半导体技术有限公司成立于2018年7月，是武汉精测电子集团股份有限公司（股票代码：300567）的控股子公司。 公司致力于开发半导体前道制程量测手段以及相应的检测量测设备，拥有国内绝对领先的电子束/离子束成像、光谱分析量测技术手段，为客户提供制程管控优化和良率提升的解决方案。经过两年多的发展，公司主要技术平台都完成了从核心技术开发，技术成果转化为产品，通过客户验证，形成订单的整个过程。同时，公司不断加强团队建设，发展至今上海地区已有员工人数180人，研发团队117人，其中博士12人，硕士48人；全资子公司武汉颐光科技有研发人员45人，其中博士5人，硕士11人；专业涵盖光学、机械、电气、软件、电子电路、算法等多个领域，具备了完整的自主研发能力；团队已汇聚了国内外高端技术及管理人才，拥有丰富的行业经验，在各技术领域均具备极强的竞争力。公司已购入上海市青浦区市西软件园的土地用于建设研发总部及半导体设备制造工厂以适应目前的快速发展需要，该项目将于2021年中完工并于2021年底前投入使用。除了加强自身团队建设，公司还与多家知名研发机构、大学院校开展合作，共同开发更高要求下的纳米级检测量测解决方案，提升国内半导体检测装备行业的技术水平。公司目前主要开发的半导体技术及设备包括：全自动精密薄膜测量设备、高性能超薄膜及OCD测量设备、电子束在线复检设备、FIB-SEM双束设备以及形貌及应力分析设备。其中高性能超薄膜及OCD量测设备，电子束在线复检设备以及FIB-SEM双束设备均为国内首创。- OCD测量设备公司作为国内唯一一家已完成客户送样测试OCD测量设备的厂家，开展了长时间、高强度的研发工作，一方面与全资子公司武汉颐光科技有限公司合作不断优化和升级测量硬件系统，提高设备的测量精度和稳定性；另一方面投入大量精力攻克与硬件配套的核心软件和算法，利用仅不到一年的时间，实现了建模仿真、分布式建库以及在线实时OCD量测等相关软件算法从无到有的突破。并于2020年12月进入客户产线进行验证。- 电子束复检设备公司通过开发和突破超高分辨率扫描电子显微镜技术，成功研制出适用于10x nm及以下集成电路制程的工艺缺陷自动检测与分类设备。于2020年12月推出了国内首台eViewTM全自动晶圆缺陷复查设备并正式交付客户。- 聚焦离子束-电子束双束设备公司通过开发聚焦离子束和电子显微镜共平台结合使用技术，实现样品的离子束微纳加工和电子束实时观测的双束工作能力，最终开发完成技术能力达到国际先进水平的FIB-SEM双束设备。预计将于2021年一季度推出并正式量产。未来公司将持续加大技术开发以及技术成果转化的力度。将已有的纳米分析手段向更高精度开发，以适应未来先进制程工艺的量测需求；同时拓展技术领域，向更高的成像精度以及更低的电磁波波长测试领域发展。公司坚信品质赢得信赖、科技创造未来；我们将通过不懈努力和技术创新，致力于成为全球一流的半导体测试设备供应商。
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